微米膜厚測量儀 C11011-21
價 格：詢價
產 地：更新時間：2020-12-15 10:34
品 牌：其他型 號：C11011-21
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產品介紹
微米膜厚測量儀 C11011-21
詳細介紹
詳細參數
| 型號 | C11011-21 |
| 可測膜厚范圍（玻璃） | 25 μm to 2200 μm*1 |
| 光源 | Infrared LD （1300 nm) |
| 光斑尺寸 | Approx. φ60 μm*4 |
| 工作距離 | 155 mm*4 |
| 可測層數 | Max. 10 layers |
| 分析 | Peak detection |
| 測量時間 | 16.7 ms/point*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
| 電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 50 VA |
| 接口 | USB 2.0 (Main unit - Computer) |
| 可測膜厚范圍（硅） | 10 μm to 900 μm*2 |
| 測量可重復性（硅） | 100 nm*3 |
| 測量準確度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3 |
* 1：玻璃折射率相同。
* 2：硅折射率相同。
* 3：測量硅時為標準偏差。
* 4：可選1000毫米工作距離的型號。 （型號C11011-01WL）
* 5：***短曝光時間。
產品特性
● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量
● 測量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2200μm
● 測量速度高達60 Hz
● 可測量層數：10層
● 測量帶圖紋晶圓或帶保護膜的晶圓
● 工作距離長
● Mapping功能
● 可外部控制
外形尺寸（單位：mm）
產品優勢
C11011-21型光學微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理，測量速度達60Hz，適用于產品在線測量。此外，選配的作圖系統可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛，比如用于產品制造過程監控或質量控制。
C11011-21可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm，可測層數zui多為10層。
滬公網安備31011502016460號
