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IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀

         本產(chǎn)品是同類(lèi)產(chǎn)品中的高精確度高品質(zhì)臭氧分析儀，它目前主要用于半導(dǎo)體、芯片、CVD，ALD等領(lǐng)域。由于它優(yōu)異的品質(zhì)，使得它成為那些需要長(zhǎng)時(shí)期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測(cè)量和工藝控制的客戶的正確選擇，長(zhǎng)期使用的所有者成本低。是監(jiān)測(cè)氣體發(fā)生設(shè)備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、職業(yè)衛(wèi)生和科學(xué)研究。

主要特點(diǎn)：

微機(jī)控制                        紫外吸收技術(shù)

可訂購(gòu)多達(dá)5個(gè)取樣點(diǎn)              壓力和溫度補(bǔ)償能力

內(nèi)置現(xiàn)場(chǎng)編程，可編次序               定光學(xué)系統(tǒng)

每通道4-20mA隔離輸出                 每通道雙報(bào)警

主要技術(shù)規(guī)格

l          取樣點(diǎn)數(shù)量：1，3或5個(gè)內(nèi)置式多通道閥

l          量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。

l          精度等***：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，

l          分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)

l          流量：內(nèi)置泵，流量可調(diào)（不大于2L/m）

l          輸出：模擬4～20mA，以及數(shù)字輸出

l          CE認(rèn)證；內(nèi)部自；RS-232通訊接口